廢氣凈化設備狀態監測是廢氣處理設備診斷技術的具體實施，是一種掌握廢氣處理設備動態特性的檢查技 術。它包括了各種主要的非破壞性檢查技術，如振動理論，噪音控制，振動監測， 應力監測，腐蝕監測，泄漏監測，溫度監測，磨粒測試（鐵譜技術），光譜分析及 其他各種物理監測技術等。

一、廢氣處理設備運行條件　　根據廢氣的性質(粘度、溫度、濕度、壓力、可燃性、毒性、穩定性和氣體種類等)設計安全可靠的廢氣處理裝置；　　

二、廢氣處理達標效率　　根據頒布的排放標準及污染源排放的廢氣濃度，選擇高效的設備類型，如果一臺設備不能滿足要求則需要多臺設備進行多處理；

三、經濟性　　主要考慮設備的制造、安裝、運行和維護費用以及廢氣達標處理問題，不得造成二次污染；

四、占地面積及空間的大小　　根據工程現場狀況，合理布置廢氣處理工藝流程和設計設備類型；

五、設備操作要求及使用壽命　　要求設備結構簡單，操作方便，便于更換吸收劑、吸附劑或催化劑等；

六、其他因素如處理有毒、易燃易爆的氣體應注意廢氣處理設備的防泄漏、防爆等安全措施。廢氣凈化設備狀態監測是廢氣處理設備診斷技術的具體實施，是一種掌握廢氣處理設備動態特性的檢查技 術。它包括了各種主要的非破壞性檢查技術，如振動理論，噪音控制，振動監測， 應力監測，腐蝕監測，泄漏監測，溫度監測，磨粒測試（鐵譜技術），光譜分析及 其他各種物理監測技術等。

廢氣處理設備狀態監測是實施廢氣處理設備狀態維修的基礎，狀態維修根據廢氣處理設備檢査與狀態監測結果，確定廢氣處理設備的維修方式。所以，實行廢氣處理設備狀態監測與狀態維修的優點有：①減少因機械故障引起的災害；②增加廢氣處理設備運轉時間；③減少維修時間；④提髙生產效率；⑤提高產品和服務質量。